主な業務


半導体製造装置のプロセス最適化・延命化支援

お客様のご要望に応じて装置の仕様変更や周辺機器の提供を行い、「装置の最適化」と「性能アップ」を実現します。


保守契約による各種技術サービス

長期にわたって装置を使い続けていただくため、メンテナンスやリフレッシュサービスなど、様々な「サポートプログラム」で支援します。